第390章 那些光刻机的往事
??沙瑞勒·内维尔喝着手里拿着的咖啡，看着电脑新闻网站，最近那闹的沸沸扬扬的到底谁抄了谁的新闻. ??摇了摇头，笑着把电脑上相关的网页全都关闭了。 ??这东西，谁抄谁有什么好争的，谁先生产出来，谁先申请专利，那就是谁的，国际上不都是这么操作的吗？这些媒体也无聊，这东西也有什么值得争的？ ??从视频上来看，那个华国的骗子不就随便弄了点软件在电脑上运行了一下而已，而这边米国的腰子科技公司，连样品都拿出来了，要知道，两个月不到的时间可不能把那些说出来的科技与系统上的设想完善，这么一对比。 ??那谁抄谁的不是一目了然吗？ ??再说了，华国有这种科技实力，研发这么高级的东西吗？ ??他们不一直喜欢偷买一些别人家的产品，把上面的logo打磨掉冒充自家的产品吗？ ??“哼——” ??还是自家的产品好——光刻机。 ??这种高端的东西，就算华国的那些垃圾如何想来碰瓷都不行，这就是人类历史最顶级的科技与技术，让那些想碰瓷垃圾感到绝望。 ??沙瑞勒·内维尔他是a斯麦公司，下一代产品的项目总工程师。 ??得益于，湾积电一个叫做林奔坚的鬼才工程师出现了，让a斯麦押注的沉浸式光刻机成功的使得原有的193nm激光经过折射，直接越过了157nm的天堑，降低到132nm。 ??把原本世界上的光刻机霸主，樱花的n康与j能踩在了脚下。 ??当然，如今几者差距还不算大。 ??a斯麦，还在小心翼翼，加大科研的投入。 ??想要把这个差距扩大。 ??扩大到让全世界都死心的地步。 ??为此，这家公司，受到了全欧洲最大的科研经费的投入。 ??如今的人均科研经费甚至排在了全欧洲第二位，远高于其他企业，甚至是军工企业。 ??从这点上便可以看出，整个欧美对这项技术的支持。 ??不过想起了，樱花。 ??沙瑞勒·内维尔也只是微微的为他们惋惜了一阵而已。 ??身为项目内的人员，他更清楚这些年因为光刻机，欧米这边所干的阴暗往事。 ??其实，造成如今这一切的并不止是简简单单两千年初踏错了干刻湿刻之分。 ??更像是一场有预谋的阴谋。 ??早于1997年，在米国政府一手干预下，尼康被euvllc排挤在外时，这已经注定了如今光刻机市场a斯麦一家独大的结局。 ??前面提到，当年为了尝试突破193nm，英特尔更倾向于激进的euv方案，于是早在1997年，欧米那边就联合起来成了了一个叫euvllc的联盟。 ??联盟中的名字个个如雷贯耳：除了y特尔和牵头的m国能源部以外，还有m托罗拉、amd、ibm，以及能源部下属三大国家实验室：l伦斯利弗莫尔国家实验室、s迪亚国家实验室和l伦斯伯克利实验室。 ??这些实验室是米国科技发展的幕后英雄，之前的研究成果覆盖物理、化学、制造业、半导体产业的各种前沿方向，有核武器、超级计算机、国家点火装置，甚至还有二十多种新发现的化学元素。 ??于是，资金到位，技术入场，人才云集，但偏偏联盟中的米国光刻机企业svg、ultratech早在80年代就被尼康打得七零八落，根本烂泥扶不上墙。 ??本来英特尔想拉来尼康和a斯麦一起入伙，并不想a斯麦一家独大。 ??但问题是，这两家公司，一个来自樱花，一个来自何兰，都不是米国本土企业。 ??而偏偏，米国政府又将euv技术视为推动本国半导体产业发展的核心技术，并不太希望外国企业参与其中，更何况八十年代在半导体领域压了米国风头的樱花，甚至可以这么说，如今的华国有多想要光刻机，当年的米国就多想要光刻机。 ??光刻机又几乎逼近物理学、材料学以及精密制造的极限。 ??光源功率要求极高，透镜和反射镜系统也极致精密，还需要真空环境，配套的抗蚀剂和防护膜的良品率也不高。 ??别说樱花与何兰，就算是米国，想要一己之力自主突破这项技术，也是痴人说梦。 ??米国自然不会想让樱花投诚然后，继续扼住米国半导体咽喉的机会。 ??于是在一份提交给国会的报告之中，专家明确指出“尼康可能会将技术转移回樱花，从而彻底消灭米国光刻机产业”。 ??樱花是敌人，但何兰还是有可能发展成自家的“漂亮国好同志”。 ??当得到这个消息，何兰a斯麦，第一时间就表示了自己诚意，同意在米国建立一所工厂和一个研发中心，以此满足所有米国本土的产能需求。另外，还保证55%的零部件均从米国供应商处采购，并接受定期审查。 ??这就是为什么米国能禁止何兰的光刻机出口华国，一切的原因都始于此时。 ??一见小弟这么给力，米国那边直接不要脸了， ??开启了更为厉害的骚操作。 ??广场协议，樱米半导体协议，直接加增100%的关税等等一系列损招全都用了出来。 ??可樱花只能含泪，牙齿掉了往肚里咽，全都答应了下来，没办法，自家老窝都在别人的炮管之下，那有它蹦跶的份，不过这也让樱花心里其实是憋了一口老血想喷的。 ??最终，米国能源部和a斯麦达成了协议，允许其加入euvllc，共同参与开发，共享研究成果。 ??之后的六年，euvllc的研发人员发表了数百篇论文，大幅推进了euv技术的研究进展，割地求和的a斯麦虽然只是其中的小角色，但也有机会分得一杯羹。 ??分享技术只是一方面，收购走后门其实也是米国送给a斯麦的一份大礼。 ??之后米国的cymer公司研发出euv所需的大功率光源，成为a斯麦的供应商，更在四年后以25亿美元高价直接被阿斯麦并购。 ??别忘了，这可是光刻机的核心零件，这样顶尖的技术，全球范围也不超过三家。 ??毫不夸张的说，a斯麦虽然是一家何兰企业，但崛起的背后，其实是一场地地道道的米国式成功。 ??错而失euv关上了尼康光刻机的大门，加上诸多盟友的背叛则彻底焊死了尼康想要突围的出路。 ??说实话，当年的英特尔为了防止核心设备供应商一家独大，其实还是挺想带着尼康一起玩的。 ??32nm工艺制程时甚至独家采用尼康的光刻机，而之前的45nm，之后的22nm，也都是尼康和a斯麦同时供货。就连在2010年的lithovision大会上，英特尔还宣布将一直沿用193nm沉浸式光刻至11nm节点。 ??但备胎终究是备胎，一转身，英特尔就为了延续摩尔定律的节奏，巨资入股a斯麦，顺带将euv技术托付。 ??另一边，相比一步步集成了全球制造业精华的a斯麦，早年间就习惯单打独斗的n康在遭遇米国封锁后，更是一步步落后，先进设备技术跟不上且不提，就连落后设备的制造效率也迟迟提不上来。 ??当年，相同制程，a斯麦宣称“每小时可加工175～200片晶圆”，而尼康的数据是“每小时200片”。 ??但果真如此吗？这背后涉及到了一个叫做稼动率的制造业名词。简单理解为一台机器设备实际的生产数量与可能的生产数量的比值。 ??使用a斯麦的设备，三星与台积电的稼动率常年维持在95%上下. ??而这边尼康，被迫自研，什么零件都要自己做，但什么东西却总有是差点意思。 ??导致同一批次的相同设备，每一台的性能都不尽相同。 ??简单来说，就像买了二十台手机，这台只能发微信，那台只能刷视频，另一台开网页…… ??设备虽便宜，但稼动率最多只能达到50%左右，对晶元代工厂来说，实在不划算。 ??因此，英特尔新ceo上任后，立刻抛弃了尼康，甚至后来就连大陆的芯片代工厂都看不上n康的光刻机，就可想而知，n康的发展有多么的没落，最终n康只能慢慢退出芯片光刻。 ??生产出的设备，只能卖给s星、lg、j东方，用来生产面板。 ??这边旧人哭，那边新人笑，2012年，y特尔连同s星和湾积电，三家企业共计投资52.29亿欧元，先后入股a斯麦，以此获得优先供货权，结成紧密的利益共同体。 ??站在euvllc的肩膀上，背靠米国支持，又有客户送钱，a斯麦自此正式成为“全村人的希望”，在摘取euv光刻机这颗宝石的道路上，一路孤独的狂奔。 ??终于，在2015年，第一台可量产的euv样机正式发布。 ??正所谓机器一响，黄金万两，当年只要能抢先拿到机器开工，就相当于直接开动了印钞产线，euv光刻机也因此被冠上了“印钱许可证”的名号。